p-n-переход между источником диффузии и телом вносит вклад в паразитную емкость в обедненной области. Емкость зависит как от площади AS, так и от периметра боковой стенки PS области диффузии источника. Поскольку толщина обедненной области зависит от условий смещения, эти паразиты являются нелинейными.