Что влияет на адгезию фоторезиста?
Это образование отслаивания в основном вызвано тремя факторами: низкой энергией адгезии фоторезиста к металлу, энергией деформации фоторезиста, генерируемой газообразным азотом, и передачей энергии облучения УФ-светом пленке фоторезиста.