✖Глубина перехода после полного масштабирования определяется как расстояние от поверхности до точки, в которой происходит изменение концентрации атомов примеси после полного масштабирования.ⓘ Глубина соединения после полного масштабирования СБИС [xj']
|
|
|
⎘ копия
|