✖Диаметр пластины относится к размеру кремниевых пластин, используемых в процессе производства полупроводников. Эти пластины служат основным материалом, на котором изготавливаются полупроводниковые устройства.ⓘ Диаметр пластины [dw] | | | +10% -10% |
✖Размер каждого кристалла относится к физическим размерам отдельного полупроводникового чипа или интегральной схемы (ИС), изготовленного на кремниевой пластине.ⓘ Размер каждой матрицы [Sd] | | | +10% -10% |