✖Длина волны в фотолитографии относится к определенному диапазону электромагнитного излучения, используемого для формирования рисунка на полупроводниковых пластинах в процессе производства полупроводников.ⓘ Длина волны в фотолитографии [λl] | | | +10% -10% |