✖Константа, зависящая от процесса, относится к параметру или значению, которое характеризует конкретный аспект производственного процесса и оказывает существенное влияние на производительность полупроводниковых устройств.ⓘ Зависимая от процесса константа [k1] | | | +10% -10% |
✖Длина волны в фотолитографии относится к определенному диапазону электромагнитного излучения, используемого для формирования рисунка на полупроводниковых пластинах в процессе производства полупроводников.ⓘ Длина волны в фотолитографии [λl] | | | +10% -10% |