La diffusione della sorgente è un processo critico nella tecnologia CMOS, con numerose applicazioni. Viene utilizzato per ridurre le dimensioni dei transistor, migliorare le prestazioni dei circuiti consecutivi e aumentare la velocità complessiva dei chip. Inoltre, la diffusione della sorgente facilita l'integrazione di più transistor su un singolo chip, consentendo la fabbricazione di circuiti integrati complessi e ad alta densità.