Die Quellendiffusion ist ein kritischer Prozess in der CMOS-Technologie mit zahlreichen Anwendungen. Es wird verwendet, um die Abmessungen von Transistoren zu reduzieren, die Leistung aufeinanderfolgender Schaltkreise zu verbessern und die Gesamtgeschwindigkeit der Chips zu erhöhen. Darüber hinaus erleichtert die Quellendiffusion die Integration mehrerer Transistoren auf einem einzigen Chip und ermöglicht so die Herstellung komplexer und hochdichter integrierter Schaltkreise.