✖Die Übergangstiefe nach vollständiger Skalierung ist definiert als der Abstand von der Oberfläche bis zu dem Punkt, an dem nach vollständiger Skalierung eine Änderung der Konzentration der Dotierstoffatome auftritt.ⓘ Verbindungstiefe nach vollständiger Skalierung von VLSI [xj']
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