Tiefenschärfe Lösung

SCHRITT 0: Zusammenfassung vor der Berechnung
Gebrauchte Formel
Tiefenschärfe = Proportionalitätsfaktor*Wellenlänge in der Fotolithographie/(Numerische Apertur^2)
DOF = k2*λl/(NA^2)
Diese formel verwendet 4 Variablen
Verwendete Variablen
Tiefenschärfe - (Gemessen in Meter) - Die Fokustiefe ist ein kritischer Parameter, der die Toleranz gegenüber Abweichungen in der Höhe des Halbleiterwafers beeinflusst.
Proportionalitätsfaktor - Der Proportionalitätsfaktor ist eine Konstante, die zwei Schlüsselparameter in Beziehung setzt: die kritische Dimension (CD) und die Expositionsdosis.
Wellenlänge in der Fotolithographie - (Gemessen in Meter) - Unter Wellenlänge in der Fotolithographie versteht man den spezifischen Bereich elektromagnetischer Strahlung, der zur Strukturierung von Halbleiterwafern während des Halbleiterherstellungsprozesses verwendet wird.
Numerische Apertur - Die numerische Apertur eines optischen Systems ist ein Parameter, der in der Optik verwendet wird, um die Leistungsfähigkeit eines optischen Systems zu beschreiben. Im Kontext der Halbleiterfertigung und Fotolithographie.
SCHRITT 1: Konvertieren Sie die Eingänge in die Basiseinheit
Proportionalitätsfaktor: 3 --> Keine Konvertierung erforderlich
Wellenlänge in der Fotolithographie: 223 Nanometer --> 2.23E-07 Meter (Überprüfen sie die konvertierung ​hier)
Numerische Apertur: 0.717 --> Keine Konvertierung erforderlich
SCHRITT 2: Formel auswerten
Eingabewerte in Formel ersetzen
DOF = k2l/(NA^2) --> 3*2.23E-07/(0.717^2)
Auswerten ... ...
DOF = 1.30133109247621E-06
SCHRITT 3: Konvertieren Sie das Ergebnis in die Ausgabeeinheit
1.30133109247621E-06 Meter -->1.30133109247621 Mikrometer (Überprüfen sie die konvertierung ​hier)
ENDGÜLTIGE ANTWORT
1.30133109247621 1.301331 Mikrometer <-- Tiefenschärfe
(Berechnung in 00.004 sekunden abgeschlossen)

Credits

Creator Image
Erstellt von Banuprakash
Dayananda Sagar College of Engineering (DSCE), Bangalore
Banuprakash hat diesen Rechner und 50+ weitere Rechner erstellt!
Verifier Image
Geprüft von Santhosh Yadav
Dayananda Sagar College of Engineering (DSCE), Banglore
Santhosh Yadav hat diesen Rechner und 50+ weitere Rechner verifiziert!

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Tiefenschärfe Formel

​LaTeX ​Gehen
Tiefenschärfe = Proportionalitätsfaktor*Wellenlänge in der Fotolithographie/(Numerische Apertur^2)
DOF = k2*λl/(NA^2)
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