फोकसची खोली उपाय

चरण 0: पूर्व-गणन सारांश
फॉर्म्युला वापरले जाते
फोकसची खोली = आनुपातिकता घटक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/(संख्यात्मक छिद्र^2)
DOF = k2*λl/(NA^2)
हे सूत्र 4 व्हेरिएबल्स वापरते
व्हेरिएबल्स वापरलेले
फोकसची खोली - (मध्ये मोजली मीटर) - डेप्थ ऑफ फोकस हा एक गंभीर पॅरामीटर आहे जो सेमीकंडक्टर वेफरच्या उंचीमधील फरकांच्या सहनशीलतेवर प्रभाव पाडतो.
आनुपातिकता घटक - आनुपातिकता घटक हा एक स्थिरांक आहे जो दोन प्रमुख पॅरामीटर्सशी संबंधित आहे: गंभीर परिमाण (CD) आणि एक्सपोजर डोस.
फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी - (मध्ये मोजली मीटर) - फोटोलिथोग्राफी मधील तरंगलांबी अर्धसंवाहक फॅब्रिकेशन प्रक्रियेदरम्यान नमुना अर्धसंवाहक वेफर्ससाठी कार्यरत इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक रेडिएशनच्या विशिष्ट श्रेणीचा संदर्भ देते.
संख्यात्मक छिद्र - ऑप्टिकल सिस्टमचे संख्यात्मक छिद्र हे ऑप्टिकल सिस्टमच्या क्षमतेचे वर्णन करण्यासाठी ऑप्टिक्समध्ये वापरलेले पॅरामीटर आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग आणि फोटोलिथोग्राफीच्या संदर्भात.
चरण 1: इनपुट ला बेस युनिटमध्ये रूपांतरित करा
आनुपातिकता घटक: 3 --> कोणतेही रूपांतरण आवश्यक नाही
फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी: 223 नॅनोमीटर --> 2.23E-07 मीटर (रूपांतरण तपासा ​येथे)
संख्यात्मक छिद्र: 0.717 --> कोणतेही रूपांतरण आवश्यक नाही
चरण 2: फॉर्म्युलाचे मूल्यांकन करा
फॉर्म्युलामध्ये इनपुट व्हॅल्यूजची स्थापना करणे
DOF = k2l/(NA^2) --> 3*2.23E-07/(0.717^2)
मूल्यांकन करत आहे ... ...
DOF = 1.30133109247621E-06
चरण 3: निकाल आउटपुटच्या युनिटमध्ये रूपांतरित करा
1.30133109247621E-06 मीटर -->1.30133109247621 मायक्रोमीटर (रूपांतरण तपासा ​येथे)
अंतिम उत्तर
1.30133109247621 1.301331 मायक्रोमीटर <-- फोकसची खोली
(गणना 00.004 सेकंदात पूर्ण झाली)

जमा

Creator Image
ने निर्मित बानुप्रकाश
दयानंद सागर अभियांत्रिकी महाविद्यालय (DSCE), बंगलोर
बानुप्रकाश यांनी हे कॅल्क्युलेटर आणि 50+ अधिक कॅल्क्युलेटर तयार केले आहेत!
Verifier Image
द्वारे सत्यापित संतोष यादव
दयानंद सागर अभियांत्रिकी महाविद्यालय (DSCE), बंगलोर
संतोष यादव यानी हे कॅल्क्युलेटर आणि 50+ अधिक कॅल्क्युलेटर सत्यापित केले आहेत।

एमओएस आयसी फॅब्रिकेशन कॅल्क्युलेटर

MOSFET मध्ये शरीराचा प्रभाव
​ जा सब्सट्रेटसह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज = शून्य शरीर पूर्वाग्रह सह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज+बॉडी इफेक्ट पॅरामीटर*(sqrt(2*बल्क फर्मी पोटेंशियल+शरीरावर व्होल्टेज लागू)-sqrt(2*बल्क फर्मी पोटेंशियल))
संपृक्तता प्रदेशात MOSFET चा प्रवाह प्रवाह
​ जा ड्रेन करंट = ट्रान्सकंडक्टन्स पॅरामीटर/2*(गेट स्त्रोत व्होल्टेज-शून्य शरीर पूर्वाग्रह सह थ्रेशोल्ड व्होल्टेज)^2*(1+चॅनेल लांबी मॉड्युलेशन फॅक्टर*ड्रेन स्त्रोत व्होल्टेज)
चॅनेल प्रतिकार
​ जा चॅनेल प्रतिकार = ट्रान्झिस्टरची लांबी/ट्रान्झिस्टरची रुंदी*1/(इलेक्ट्रॉन गतिशीलता*वाहक घनता)
MOSFET युनिटी-गेन वारंवारता
​ जा MOSFET मध्ये युनिटी गेन वारंवारता = MOSFET मध्ये ट्रान्सकंडक्टन्स/(गेट सोर्स कॅपेसिटन्स+गेट ड्रेन कॅपेसिटन्स)

फोकसची खोली सुत्र

फोकसची खोली = आनुपातिकता घटक*फोटोलिथोग्राफी मध्ये तरंगलांबी/(संख्यात्मक छिद्र^2)
DOF = k2*λl/(NA^2)
Let Others Know
Facebook
Twitter
Reddit
LinkedIn
Email
WhatsApp
Copied!